四川知微传感技术有限公司(简称:四川知微传感)是致力于微纳传感系统研发和生产的高科技企业,主要从事MEMS器件和数模混合ASIC设计,产品主要应用于高端工业的振动监测,惯性导航等领域。
AS1000加速度计是基于MEMS(微机电系统)加工工艺的高性能振动检测加速度计,采用电容敏感结构,专门为地震和振动应用领域而设计。加速度接口电路采用高精度全模拟ASIC与Sensor组成闭环控制系统,加速度计在出厂时经过严格的筛选测试。在噪声、动态范围、非线性、重复性、温度漂移、抗冲击等性能上具有优越的表现,是目前行业内具有竞争优势的一款产品。
闭环结构电容式MEMS加速度计 | 输入电源电压:4.75V ~5.25V |
量程:±2g /±3g / ±5g / ±10g / ±30g | 输出:差分输出 |
自检测模式:19Hz | 内建高精度基准电压 |
内建温度传感器 | 输入轴偏心度:10mrad |
工作温度:-40℃ ~ +125℃ | 振动可靠性:20g,随机振动,[20, 2000Hz] |
抗冲击(可恢复):6000g,0.15ms | 封装:CLCC20(9.0mm*9.0mm) |
参数 (典型值) |
AS1002 |
AS1003 |
AS1005 |
AS1010 |
AS1030 |
单位 |
量程 |
±2 |
±3 |
±5 |
±10 |
±30 |
g |
非线性度(满量程典型值) |
0.1 |
0.1 |
0.1 |
0.1 |
0.1 |
% |
频率响应(±5%带宽) |
60 |
60 |
60 |
60 |
60 |
Hz |
频率响应(±3dB带宽) |
200 |
200 |
200 |
200 |
200 |
Hz |
噪声谱密度 |
1.1 |
1.1 |
1.2 |
1.4 |
2.3 |
μg/√Hz |
零偏温度系数(最大值) |
0.2 |
0.2 |
0.2 |
0.2 |
0.2 |
mg/℃ |
零偏稳定性 |
0.03 |
0.03 |
0.03 |
0.03 |
0.03 |
mg |
比例因子 |
1800 |
1200 |
720 |
360 |
120 |
mV/g |
比例因子温度系数 |
95 |
95 |
95 |
95 |
95 |
ppm/℃ |
比例因子稳定性 |
120 |
120 |
100 |
50 |
50 |
ppm |