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AS1000系列高性能电容式 MEMS 加速度计器件

AS1000 系列加速度计是基于电容式 MEMS 的高性能加速 度计，主要应用于地震、振动和惯性等领域。该系列加速度 计采用高性能 ASIC 与 MEMS 传感器组成闭环系统，噪声、 动态范围、非线性、重复性、温度漂移、抗冲击等性能优越， 是目前行业内最具竞争优势的产品之一。

产品特性

闭环结构电容式MEMS加速度计
输入电源电压：4.75V ~5.25V
量程：±2g /±3g / ±10g / ±30g
输出：差分输出/单端输出
自检测模式：19Hz
内建温度传感器
输入轴偏心度：10mrad
恶劣环境中的可靠性和ERR状态监测
振动可靠性：6.06g，随机振动
抗冲击：6000g，0.15ms
工作温度：-40℃ ~ +125℃
封装：LCC20（9.0mm*9.0mm）
参数 (典型值） AS1002A 单位
量程 ±2 g
非线性度(满量程) 0.1 %
零位偏置 ±8 mg
零偏稳定性(1s，1h，1σ) 0.05 mg
零偏重复性 0.15 mg
零偏温度系数 0.1 mg/℃
比例因子 1800 mV/g
比例因子稳定性 50 ppm
比例因子 重复 性 50 ppm
比例因子温度系数 50 ppm/℃
噪声谱密度(@100Hz) 1.2 μg/√Hz
频率响应(±5%带宽) 100 Hz
频率响应(-3dB带宽) 10000 Hz